隨著奈米技術的逐漸發(fā)展，MEMS級產品的量產也已不再是紙上談兵而已。當然，除了來自市場需求的誘因之外，各種MEMS制程設備與技術的商品化的實現(xiàn)自然也是不容忽視的幕后推手。
在今年五月份，In-Stat/MDR曾就2002-2007間全球MEMS市場的發(fā)展前景提出了令人關注的預測數字；該單位預估在從2003到2007年的5年間，全球MEMS市場的年復合成長率將達到17.1的百分比。
事實上，專業(yè)從事MEMS制程設備為主的英國STS(Surfacing Technology Systems plc.；以下簡稱STS) CEO Ian Smith更進一步地指出，全球MEMS組件的需求將有機會在兩年內達到百分之四十五的復合成長率；在這樣的樂觀宣示之下，讓我們不禁對STS的經營實力產生了高度的興趣。
透過和該公司的亞洲區(qū)銷售經理Martin Ryan博士、MEMS產品行銷工程師Richard Barnett先生，以及來自該公司在臺代理伙伴-佳霖科技股份有限公司的產品處長朱增基先生的一番晤談，讓我們對STS在MEMS制程設備領域的核心能力及其續(xù)發(fā)展規(guī)劃，有了更深一歩的認識。
MEMS制造設備的先鋒
成立于1984年的STS，由于長期以來對于設計及制造M0EMS制程所需生產設備的投入，使得該公司已成為擁有MEMS制程能力的廠商們，不可或缺的重要支柱。不同于其它專注于晶圓制造生產設備的業(yè)者，該公司所提供的主要產品與服務范圍，主要是以非當前主流半導體市場的新興制程為主(參見表1)。
事實上，該公司除了生產MEMS制程所需的生產設備之外，憑借著該公司本身對于深次微米蝕刻等先進技術的掌握，也分別投入了光電、通訊、高階封裝制程等成長中的應用領域所需制程設備的研發(fā)與制造工作。
以該公司本次在SEMICON Taiwan 2003所展出的新一代深硅蝕刻與沉積工具-Pro系列(Pro Family)為例；它除了能和該公司原有的ASE(先進硅蝕刻)技術兼容，使得客戶有能力透過此一設備來完成包括加速器、陀螺儀、光波島等MEMS級組件的制造之外，也能夠進一步地讓生產廠商降低每個晶圓與組件的整體制造成本，同時也間接地促進了MEMS組件量產化的實現(xiàn)。由于Pro系列當中分別對于從研發(fā)、試產到量產等不同階段的MEMS制程需求提供相應的設備平臺；因此，它能夠從組件的開發(fā)到作業(yè)流程的發(fā)展初期，就和有心投入MEMS組件制造的業(yè)者一同進行相應的開發(fā)與配套安排，由于該公司在制程開發(fā)過程中與實際量產所需的生產設備皆可尤其Pro系列成員的不同產品來加以滿足，所以STS能夠確保提供給客戶的制程設備，在產品投產過程中的不同階段皆能夠有穩(wěn)定的設備作業(yè)效率與兼容性，減少了傳統(tǒng)上從實驗室結果移轉到實際生產在線量產時所可能產生的誤差。
若從該公司的經營模式來看，我們可以發(fā)現(xiàn)其成功除了在于本身對深硅蝕刻等MEMS相關技術的長期研發(fā)投入，另一個關鍵乃是來自該公司擁有一組能夠從組件構想初期即能夠與客戶協(xié)同設計，并能夠在實際制程設備導入及后續(xù)維護等工作上提供優(yōu)質服務的技術團隊(參見表2)。事實上，包括該公司在臺灣地區(qū)的代理伙伴佳霖科技本身在內，也同樣有一組十余人由朱增基先生率領的技術支持團隊，來協(xié)同STS方面的技術能量，一同與本地的業(yè)者共同投入STS所提供的MEMS制程設備的導入工作。
發(fā)展前景
隨著MEMS技術的開發(fā)與制程設備的進步，采用MEMS制程的組件將從現(xiàn)有的車用感測裝置、噴墨打印機的噴頭、陀螺儀等，逐步朝向微型的光學交換器、RF交換器等更多元的MEMS應用。因此，STS對于全球MEMS全球市場的發(fā)展前景也始終抱持著審慎樂觀的態(tài)度。
就在華新麗華及亞太優(yōu)勢等新興廠商先后投入對于MEMS級組件代工市場，以及來自TSMC、UMC等現(xiàn)有晶圓代工廠商對于MEMS制程及產能建立的高度關注，我們可以預期此一市場日后的發(fā)展?jié)摿?。經過多年來在MEMS等相關技術領域的深耕與茁壯，STS所生產的制程設備已被諸如Infineon、Agere、Philips、ST、Seiko-Epson等歐、美MEMS組件與應用系統(tǒng)的制造業(yè)者廣泛地采用。隨著亞太市場逐步取代歐美成為新一波的成長來源，STS也開始與本地的合作伙伴緊密合作，隨著本地在晶圓代工等半導體制造領域所締造的成績以及若干以MEMS代工為主要業(yè)務的廠商陸續(xù)成立之后，STS在臺灣及亞太市場的發(fā)展?jié)摿?，值得我們拭目以待?
在今年五月份，In-Stat/MDR曾就2002-2007間全球MEMS市場的發(fā)展前景提出了令人關注的預測數字；該單位預估在從2003到2007年的5年間，全球MEMS市場的年復合成長率將達到17.1的百分比。
事實上，專業(yè)從事MEMS制程設備為主的英國STS(Surfacing Technology Systems plc.；以下簡稱STS) CEO Ian Smith更進一步地指出，全球MEMS組件的需求將有機會在兩年內達到百分之四十五的復合成長率；在這樣的樂觀宣示之下，讓我們不禁對STS的經營實力產生了高度的興趣。
透過和該公司的亞洲區(qū)銷售經理Martin Ryan博士、MEMS產品行銷工程師Richard Barnett先生，以及來自該公司在臺代理伙伴-佳霖科技股份有限公司的產品處長朱增基先生的一番晤談，讓我們對STS在MEMS制程設備領域的核心能力及其續(xù)發(fā)展規(guī)劃，有了更深一歩的認識。
MEMS制造設備的先鋒
成立于1984年的STS，由于長期以來對于設計及制造M0EMS制程所需生產設備的投入，使得該公司已成為擁有MEMS制程能力的廠商們，不可或缺的重要支柱。不同于其它專注于晶圓制造生產設備的業(yè)者，該公司所提供的主要產品與服務范圍，主要是以非當前主流半導體市場的新興制程為主(參見表1)。
事實上，該公司除了生產MEMS制程所需的生產設備之外，憑借著該公司本身對于深次微米蝕刻等先進技術的掌握，也分別投入了光電、通訊、高階封裝制程等成長中的應用領域所需制程設備的研發(fā)與制造工作。
以該公司本次在SEMICON Taiwan 2003所展出的新一代深硅蝕刻與沉積工具-Pro系列(Pro Family)為例；它除了能和該公司原有的ASE(先進硅蝕刻)技術兼容，使得客戶有能力透過此一設備來完成包括加速器、陀螺儀、光波島等MEMS級組件的制造之外，也能夠進一步地讓生產廠商降低每個晶圓與組件的整體制造成本，同時也間接地促進了MEMS組件量產化的實現(xiàn)。由于Pro系列當中分別對于從研發(fā)、試產到量產等不同階段的MEMS制程需求提供相應的設備平臺；因此，它能夠從組件的開發(fā)到作業(yè)流程的發(fā)展初期，就和有心投入MEMS組件制造的業(yè)者一同進行相應的開發(fā)與配套安排，由于該公司在制程開發(fā)過程中與實際量產所需的生產設備皆可尤其Pro系列成員的不同產品來加以滿足，所以STS能夠確保提供給客戶的制程設備，在產品投產過程中的不同階段皆能夠有穩(wěn)定的設備作業(yè)效率與兼容性，減少了傳統(tǒng)上從實驗室結果移轉到實際生產在線量產時所可能產生的誤差。
若從該公司的經營模式來看，我們可以發(fā)現(xiàn)其成功除了在于本身對深硅蝕刻等MEMS相關技術的長期研發(fā)投入，另一個關鍵乃是來自該公司擁有一組能夠從組件構想初期即能夠與客戶協(xié)同設計，并能夠在實際制程設備導入及后續(xù)維護等工作上提供優(yōu)質服務的技術團隊(參見表2)。事實上，包括該公司在臺灣地區(qū)的代理伙伴佳霖科技本身在內，也同樣有一組十余人由朱增基先生率領的技術支持團隊，來協(xié)同STS方面的技術能量，一同與本地的業(yè)者共同投入STS所提供的MEMS制程設備的導入工作。
發(fā)展前景
隨著MEMS技術的開發(fā)與制程設備的進步，采用MEMS制程的組件將從現(xiàn)有的車用感測裝置、噴墨打印機的噴頭、陀螺儀等，逐步朝向微型的光學交換器、RF交換器等更多元的MEMS應用。因此，STS對于全球MEMS全球市場的發(fā)展前景也始終抱持著審慎樂觀的態(tài)度。
就在華新麗華及亞太優(yōu)勢等新興廠商先后投入對于MEMS級組件代工市場，以及來自TSMC、UMC等現(xiàn)有晶圓代工廠商對于MEMS制程及產能建立的高度關注，我們可以預期此一市場日后的發(fā)展?jié)摿?。經過多年來在MEMS等相關技術領域的深耕與茁壯，STS所生產的制程設備已被諸如Infineon、Agere、Philips、ST、Seiko-Epson等歐、美MEMS組件與應用系統(tǒng)的制造業(yè)者廣泛地采用。隨著亞太市場逐步取代歐美成為新一波的成長來源，STS也開始與本地的合作伙伴緊密合作，隨著本地在晶圓代工等半導體制造領域所締造的成績以及若干以MEMS代工為主要業(yè)務的廠商陸續(xù)成立之后，STS在臺灣及亞太市場的發(fā)展?jié)摿?，值得我們拭目以待?
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