Surface Technology Systems plc. (STS)-MEMS制程的關(guān)鍵推手

隨著奈米技術(shù)的逐漸發(fā)展，MEMS級產(chǎn)品的量產(chǎn)也已不再是紙上談兵而已。當(dāng)然，除了來自市場需求的誘因之外，各種MEMS制程設(shè)備與技術(shù)的商品化的實(shí)現(xiàn)自然也是不容忽視的幕后推手。

在今年五月份，In-Stat/MDR曾就2002-2007間全球MEMS市場的發(fā)展前景提出了令人關(guān)注的預(yù)測數(shù)字；該單位預(yù)估在從2003到2007年的5年間，全球MEMS市場的年復(fù)合成長率將達(dá)到17.1的百分比。

事實(shí)上，專業(yè)從事MEMS制程設(shè)備為主的英國STS(Surfacing Technology Systems plc.；以下簡稱STS) CEO Ian Smith更進(jìn)一步地指出，全球MEMS組件的需求將有機(jī)會在兩年內(nèi)達(dá)到百分之四十五的復(fù)合成長率；在這樣的樂觀宣示之下，讓我們不禁對STS的經(jīng)營實(shí)力產(chǎn)生了高度的興趣。

透過和該公司的亞洲區(qū)銷售經(jīng)理Martin Ryan博士、MEMS產(chǎn)品行銷工程師Richard Barnett先生，以及來自該公司在臺代理伙伴-佳霖科技股份有限公司的產(chǎn)品處長朱增基先生的一番晤談，讓我們對STS在MEMS制程設(shè)備領(lǐng)域的核心能力及其續(xù)發(fā)展規(guī)劃，有了更深一歩的認(rèn)識。



MEMS制造設(shè)備的先鋒

成立于1984年的STS，由于長期以來對于設(shè)計(jì)及制造M0EMS制程所需生產(chǎn)設(shè)備的投入，使得該公司已成為擁有MEMS制程能力的廠商們，不可或缺的重要支柱。不同于其它專注于晶圓制造生產(chǎn)設(shè)備的業(yè)者，該公司所提供的主要產(chǎn)品與服務(wù)范圍，主要是以非當(dāng)前主流半導(dǎo)體市場的新興制程為主(參見表1)。

事實(shí)上，該公司除了生產(chǎn)MEMS制程所需的生產(chǎn)設(shè)備之外，憑借著該公司本身對于深次微米蝕刻等先進(jìn)技術(shù)的掌握，也分別投入了光電、通訊、高階封裝制程等成長中的應(yīng)用領(lǐng)域所需制程設(shè)備的研發(fā)與制造工作。

以該公司本次在SEMICON Taiwan 2003所展出的新一代深硅蝕刻與沉積工具-Pro系列(Pro Family)為例；它除了能和該公司原有的ASE(先進(jìn)硅蝕刻)技術(shù)兼容，使得客戶有能力透過此一設(shè)備來完成包括加速器、陀螺儀、光波島等MEMS級組件的制造之外，也能夠進(jìn)一步地讓生產(chǎn)廠商降低每個(gè)晶圓與組件的整體制造成本，同時(shí)也間接地促進(jìn)了MEMS組件量產(chǎn)化的實(shí)現(xiàn)。由于Pro系列當(dāng)中分別對于從研發(fā)、試產(chǎn)到量產(chǎn)等不同階段的MEMS制程需求提供相應(yīng)的設(shè)備平臺；因此，它能夠從組件的開發(fā)到作業(yè)流程的發(fā)展初期，就和有心投入MEMS組件制造的業(yè)者一同進(jìn)行相應(yīng)的開發(fā)與配套安排，由于該公司在制程開發(fā)過程中與實(shí)際量產(chǎn)所需的生產(chǎn)設(shè)備皆可尤其Pro系列成員的不同產(chǎn)品來加以滿足，所以STS能夠確保提供給客戶的制程設(shè)備，在產(chǎn)品投產(chǎn)過程中的不同階段皆能夠有穩(wěn)定的設(shè)備作業(yè)效率與兼容性，減少了傳統(tǒng)上從實(shí)驗(yàn)室結(jié)果移轉(zhuǎn)到實(shí)際生產(chǎn)在線量產(chǎn)時(shí)所可能產(chǎn)生的誤差。

若從該公司的經(jīng)營模式來看，我們可以發(fā)現(xiàn)其成功除了在于本身對深硅蝕刻等MEMS相關(guān)技術(shù)的長期研發(fā)投入，另一個(gè)關(guān)鍵乃是來自該公司擁有一組能夠從組件構(gòu)想初期即能夠與客戶協(xié)同設(shè)計(jì)，并能夠在實(shí)際制程設(shè)備導(dǎo)入及后續(xù)維護(hù)等工作上提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)(參見表2)。事實(shí)上，包括該公司在臺灣地區(qū)的代理伙伴佳霖科技本身在內(nèi)，也同樣有一組十余人由朱增基先生率領(lǐng)的技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)，來協(xié)同STS方面的技術(shù)能量，一同與本地的業(yè)者共同投入STS所提供的MEMS制程設(shè)備的導(dǎo)入工作。

發(fā)展前景

隨著MEMS技術(shù)的開發(fā)與制程設(shè)備的進(jìn)步，采用MEMS制程的組件將從現(xiàn)有的車用感測裝置、噴墨打印機(jī)的噴頭、陀螺儀等，逐步朝向微型的光學(xué)交換器、RF交換器等更多元的MEMS應(yīng)用。因此，STS對于全球MEMS全球市場的發(fā)展前景也始終抱持著審慎樂觀的態(tài)度。

就在華新麗華及亞太優(yōu)勢等新興廠商先后投入對于MEMS級組件代工市場，以及來自TSMC、UMC等現(xiàn)有晶圓代工廠商對于MEMS制程及產(chǎn)能建立的高度關(guān)注，我們可以預(yù)期此一市場日后的發(fā)展?jié)摿Α＝?jīng)過多年來在MEMS等相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的深耕與茁壯，STS所生產(chǎn)的制程設(shè)備已被諸如Infineon、Agere、Philips、ST、Seiko-Epson等歐、美MEMS組件與應(yīng)用系統(tǒng)的制造業(yè)者廣泛地采用。隨著亞太市場逐步取代歐美成為新一波的成長來源，STS也開始與本地的合作伙伴緊密合作，隨著本地在晶圓代工等半導(dǎo)體制造領(lǐng)域所締造的成績以及若干以MEMS代工為主要業(yè)務(wù)的廠商陸續(xù)成立之后，STS在臺灣及亞太市場的發(fā)展?jié)摿Γ档梦覀兪媚恳源?