將電漿制程科技運用在先進電子設備之制造和封裝的巨擘Surface Technology Systems plc (STS)公司，宣布已接獲來自微機電系統 (MEMS) 生產設備制造業者價值超過200萬英鎊的訂單。
該訂單包括多個Pegasus的反應制程腔體，主要用于消費性成品的MEMS深硅微加工技術。Pegasus提供較其它市面上深硅蝕刻離子反應式蝕刻機臺更高的蝕刻率。STS 提供兩種多腔體式平臺做為多腔體操作之用：VPX 含有一個真空芯片匣和多達3個反應腔體，CPX 則有兩個真空匣和多達4個反應腔體。
STS執行長John Saunders說："接獲此訂單讓我們非常興奮，不僅因為這是STS接獲最大的訂單之一，也代表了我們這項8個月前推出的新產品得到業界肯定，獲得了巨大的成功。這份訂單也證實了我們的多反應腔體系統足以滿足量產客戶的需求。"
STS 業務行銷總監David Haynes補充說："我們視此訂單為對MEMS主制造業者成功利用或銷售其設備，做為汽車或消費產品等大量用途的進一步肯定。"
這份新訂單將使得STS目前的訂貨單金額超過1200萬英鎊，它們都在2006 年交貨，大部分在今年上半年。這是STS自2001年以來最高的訂貨單水平。
STS設計并生產一系列結合創新技術之專門系統設備，應用范圍遍及半導體與相關設備之制造；STS也是處理非"主流"半導體設備之電漿蝕刻與沉積技術之龍頭。STS在電信、數據儲存、先進封裝、MEMS與奈米科技等新興領域，均提供一系列之應用。
STS在日漸成長的MEMS市場之硅晶深層蝕刻領域居于領先地位，提供具有專利保護之技術。此外，STS在其它提供服務的市場中也占有顯著地位，并透過經驗卓著之銷售與服務部門，為全球各地之客戶提供制程解決方案。STS集團目前經營領域遍及全世界30多國，所安裝之系統超過900部。如欲了解更多關于STS之詳情，請瀏覽：http://www.stsystems.com。
該訂單包括多個Pegasus的反應制程腔體，主要用于消費性成品的MEMS深硅微加工技術。Pegasus提供較其它市面上深硅蝕刻離子反應式蝕刻機臺更高的蝕刻率。STS 提供兩種多腔體式平臺做為多腔體操作之用：VPX 含有一個真空芯片匣和多達3個反應腔體，CPX 則有兩個真空匣和多達4個反應腔體。
STS執行長John Saunders說："接獲此訂單讓我們非常興奮，不僅因為這是STS接獲最大的訂單之一，也代表了我們這項8個月前推出的新產品得到業界肯定，獲得了巨大的成功。這份訂單也證實了我們的多反應腔體系統足以滿足量產客戶的需求。"
STS 業務行銷總監David Haynes補充說："我們視此訂單為對MEMS主制造業者成功利用或銷售其設備，做為汽車或消費產品等大量用途的進一步肯定。"
這份新訂單將使得STS目前的訂貨單金額超過1200萬英鎊，它們都在2006 年交貨，大部分在今年上半年。這是STS自2001年以來最高的訂貨單水平。
STS設計并生產一系列結合創新技術之專門系統設備，應用范圍遍及半導體與相關設備之制造；STS也是處理非"主流"半導體設備之電漿蝕刻與沉積技術之龍頭。STS在電信、數據儲存、先進封裝、MEMS與奈米科技等新興領域，均提供一系列之應用。
STS在日漸成長的MEMS市場之硅晶深層蝕刻領域居于領先地位，提供具有專利保護之技術。此外，STS在其它提供服務的市場中也占有顯著地位，并透過經驗卓著之銷售與服務部門，為全球各地之客戶提供制程解決方案。STS集團目前經營領域遍及全世界30多國，所安裝之系統超過900部。如欲了解更多關于STS之詳情，請瀏覽：http://www.stsystems.com。
