意法半導體公布MEMS研究重大發現
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2006-09-25 00:00
前言:
世界領先的微機電系統(MEMS)產品技術供應商意法半導體,出版了新一期技術研究刊物ST Journal of Research,本期重點介紹了ST的MEMS研究成果。前幾期同樣也是以技術專題的形式重點報道了ST有關處理器架構及編譯器技術和網絡媒體的先進研究項目。ST Journal of Research是由ST的研究員與世界一流大學以及研究機構的著名科學家和研究員共同執筆編著,以技術論文和討論的形式圍繞所選專題介紹ST在某一技術領域取得的新進展。所有論文都經過專家組審校,報道是由一名相關領域的專家協調組織的。
MEMS(微機電系統)是一項激動人心的高新技術,它利用硅的機械性質將對振動、位移、加速和旋轉敏感的機械結構集成在一起。這項技術開啟了通向以尺寸緊湊、成本低廉、高精度為特色的新一代傳感器的大門。常規的半導體開發是將重點放在不斷改進傳統的電子技術上,而MEMS則推動設計人員進行立體思維,從而獲得一種把電氣、半導體和機械設計等多學科融合在一起的特殊技術。
MEMS產品采用微加工制造工藝技術,這種工藝源自基本的集成電路技術,因此與集成電路的工序基本相似。然而,最終產品并不是制作一個簡單的電路,而是在一個襯底(通常是硅)上制作一個電路以及一個三維的機械結構。汽車、工業、消費電子、電信以及醫療市場正在利用MEMS技術帶來的好處。這項技術能夠給應用及產品增加很多新功能,使產品變得更好用,功能更多,可靠性更高,價格更便宜。汽車安全氣囊的傳感器和噴墨打印機的噴頭是MEMS的主要應用。
ST Journal of Research 的編輯搜集了9篇關于MEMS的各種問題及解決方案的技術論文。本期主要論題是:MEMS產品的機械特性,新的MEMS工藝技術,MEMS光電開關,MEMS陀螺儀,射頻MEMS。
“隨著ST和其它廠商擴大產品組合和制造能力的努力變得更有成效,不同市場上的各種應用開始采用微加工產品,”意法半導體MEMS事業部總監 Benedetto Vigna表示,“要想進入新的市場,MEMS的技術先驅必須接受新的思維方式,必須挑戰自己,提出富有遠見的解決方案,接受新的技術解決方案。 ST Journal of Research 是我們與MEMS技術界同仁交流某些關鍵問題及解決方案的優秀傳媒?!?
ST Journal of Research 旨在于促進有關MEMS的主要研究問題、解決方案及方法理論的知識交流。ST的期刊是電子版,下載期刊的網址:http://www.st.com/stonline/press/magazine/stjournal/index.htm。