意法半導體執行副總裁兼模擬器件MEMS及傳感器產品事業部總經理Benedetto Vigna（衛博濤）
根據市場研究機構Semico Research的最新市場報告顯示，2014年全球MEMS市場規模達到143億美元。隨著物聯網產業的蓬勃發展，未來預計MEMS市場規模將從2013年的124億美元成長至2018年的433億美元，年復合成長率（CAGR）為28.4%。MEMS市場在未來5年仍將保持高速成長態勢。
作為全球最大的消費類MEMS器件供應商，意法半導體迄今為累計銷售了超過100億件MEMS產品。產品包括運動傳感、環境檢測、音頻傳輸以及各式微執行器，其MEMS產品處于消費電子、工業以及物聯網應用的前沿地帶。
“從任天堂（Nintendo）Wii到智能型手機，MEMS市場經歷了快速擴張和巨大變化。MEMS的應用潛力尚未完全被開發，直到現在真正的殺手級應用仍沒出現。MEMS市場的下一波發展方向將會是致動器的相關應用。這些精巧的小機器多年來一直在緩慢地積累能量，隨著物聯網時代來臨，這些微致動器將能引領新的應用發展，趕上這波浪潮的企業也將創造屬于自己的機會。舉例來說，下一波應用包括讓人機互動變得更自然的微型反射鏡、更小更快的手機／相機自動對焦解決方案以及新型3D打印的噴墨印頭。”意法半導體執行副總裁兼模擬器件MEMS及傳感器產品事業部總經理Benedetto Vigna（衛博濤）表示。
MEMS器件雙向操作產生不同市場
既然外部的物理變化可以通過MEMS器件轉換為電信號，那么反過來呢？
MEMS微執行器工作原理示意
通過控制電信號，實現可控的MEMS器件機械能的改變，就成為了微執行器。MEMS微執行器實際上是在極為微小的器件上實現電能轉換為機械能的精密機構。由此也衍生出一系列應用，形成多條執行器產品線。
意法半導體MEMS產品，在消費類市場保持領先位置，MEMS產品產品組合共六大類產品，三大類是傳感器（環境傳感器、MEMS麥克風、運動傳感器），另外三大類是MEMS執行器（壓電式執行器、微反射鏡光學微執行器、射流微執行器），在加上觸控產品、低功耗模擬器件以及射頻芯片，形成了完整的MEMS產品組合。
意法半導體擁有完整的MEMS產品組合
“我們在MEMS工藝布局非常完善。不管做MEMS的傳感器還是推進器，除了要有很好的MEMS結構工藝，同時也要有很好的低功耗數字電路開發能力。此外，意法半導體公司在25年之前就研發出推向市場所謂的BCD技術，MEMS結構與BCD技術的結合，就讓我們做MEMS的推進器具有獨一無二的優勢。”
MEMS執行器
MEMS諧振微反射鏡裝置
“一加”2015年度旗艦機型“一加2”手機依靠意法半導體傳感器強化其優異的拍照系統性能，包括一個極快的0.2秒 “人眼級”激光對焦時間和光學防抖技術，防抖精度提升20%，功耗比標準光學防抖手機拍照系統降低55%。這其中，意法半導體的L2G2IS陀螺儀驅動一加2手機的光學圖像穩定系統（OIS），提升在低光條件下拍照的相片銳度，消除手機攝像的抖動現象。這款兩軸MEMS陀螺儀保證感測單元具有獨特的特性，通過數字接口向相機提供角速率測量值。
除了消費市場，微執行器也被應用在更多領域。Debiotech是一家著名的醫藥公司，他們將MEMS微執行器技術應用在胰島素供給中。微執行器不僅將液體輸送變得更加精確，而且將整個系統的體積大大縮小，病人攜帶一星期胰島素的劑量，貼在身體上就可以。
“目前，微執行器業務占整個MEMS業務約為25%。胰島素注射、3D打印，它的出發點已經不是消費類市場。我們堅信，這類技術后續帶來的便利，在非消費類市場本身開發周期、生命周期更長的市場里，對于它的應用和認知會更加多元化。”
目前意法半導體在幾個MEMS新興領域都有投入和產品。未來，MEMS傳感器和執行器在實現智能對象（物聯網與穿戴式裝置）、智能生活空間（智慧城市、智慧工業與智慧家庭）及智慧駕駛（綠色環保汽車與車聯網）領域將扮演的重要角色，并由此進一步壯大和完善MEMS器件生態系統。
