以碳化硅 (SiC)、氮化鎵 (GaN) 為主的「寬能隙」(WBG) 半導體以損耗少、效能高著稱,然而想要將這些強項發揮到極致,需從材料、晶圓、元件、模塊到系統等多個環節共同努力,并非一句宣布「采用」就能輕松達陣。
材料是碳化硅一大關鍵,為掌握質量并力保供料無虞,國際整合元件制造 (IDM) 大廠莫不傾力投入發展。甫獲鴻海科技入股的盛新材料科技即透露,光是材料就占了他們總制造成本的五成!加上長晶過程不易,用的又是高純度、高價材料,為免工藝徒勞及浪費,亟需「非破壞式」的晶體/晶圓檢測技術相助——僅經由表面加工處理、不須損傷晶體就能觀測質量和基板 (Substrate) 缺陷,且可檢測刮痕、電阻率等表面特性以提高元件良率,基板的優劣尤為關鍵。
元件商同樣重申「量測」的茲事體大,且與量測廠商同聲強調「雙脈沖」(Double Pulse) 的絕對必要性。這是由于中、下游廠商更關心的是切換損耗 (Switch Loss)、閘極充放電容的電荷量等動態參數;偏偏大部分功率元件會因感性負載 (inductive load) 大而產生反向恢復電流,導致單一脈沖無法精準辨別之故。雙脈沖測試有兩大關鍵:一是軟件整合,二是為用戶的待測物提供客制化解決方案并擔保治具質量,以免因接觸不良而誤導測試結果。
模塊暨系統廠商亦附和「可靠度」的重要,包括零組件硬件本身的能力、材料、工藝,以及人力組織的軟實力,這需要長時間測試與累積,并經過分析驗證之后才知學理是否正確?此外,還得評估產品或系統整個生命周期 (Life Cycle) 的「RAM」成本——可靠度 (Reliability)、可用度 (Availability)、可維護度 (Maintainability),及其后所衍生出的風險管理,尤須留意會重復出現的「系統性失效」,這有賴「系統工程」確保每次輸入、處理、輸出的操作流程及結果。
最后,有趣的是,在訪談的過程中,有些廠商樂觀看待臺灣擁有完整的碳化硅供應鏈以及中、美以外的「第三地生產」優勢,但也有業者先進認為中國大陸的電子電路基礎扎實又有政策扶持,極可能異軍突起;復考慮到功率器件尺寸與切換損失的問題,未來對于「高操作頻率」的市場需求或更高,相較之下反而更看好氮化鎵的遠景……。更多關于如何將「寬禁帶」效能發揮到極致以及市場前景的討論,盡在本期【產業特輯】。
SiC、GaN 領跑,「寬能隙」全力沖刺功率半導體市場
以碳化硅 (SiC) 與氮化鎵 (GaN) 為主的寬能隙(WBG) 功率元件,近年熱議不斷,兩者皆以「能源效率」著稱。前者勝在高壓,拜電動車 (EV) 之賜而聲名大噪;后者強在高頻,因為數據中心及消費電子變壓器的采用而躍上舞臺。
曾在碳化硅耕耘多年、現轉攻氮化鎵領域的 GaN Systems 副總經理莊淵棋表示,今后數十年人類會遇到的重大生存問題,能源就是其一;寬禁帶受到數字經濟、電子設備及不同能源系統轉換三大面向驅動,需求持續看漲。
節能&儲能,推動「寬能隙」半導體前行
首先,社群軟件興盛的今天,數據正以倍數成長,自駕車上路后,預估每天數據量將達 4GB。2025 年在手機、自駕車等驅動下,日常流動數據量將上看 ZB (10 的 21 次方),數據中心與高速運算在增加算力和內存容量的同時,能耗也增多。假設電動車充電每輛耗能 100W,若希望在 15 分鐘之內充滿 80%,以 400V、1000A 計算,亦即每支充電槍的電流數約 800~1000A;通常一個充電站配有 10 支充電槍,10000A 同時發生,舊有都市建設的電力系統根本無法負荷。于是,為普及電動車,美國兩年前就規定:設立一個充電樁須搭配一個儲能系統。
其次,隨著電動車被推上時程,從能源生成的角度來看,預估 2025 年再生能源最多只占總能源消耗的四成,仍有六成須仰賴傳統發電;而數據中心是吃電大怪獸,歐盟已規定能源效率從 94% 提升至 96%,舊有電源架構及材料無法企及。最后,一般用電及再生能源轉換過程也有能耗損失,都是推動寬禁帶前進的力量。莊淵棋指出,自從特斯拉 Model3 點燃碳化硅商機,板載充電 (OBC) 和牽引逆變器 (Traction Inverter) 改用碳化硅就成了現在進行式;但汽車產業相當保守,硅基元件改用碳化硅時原則上會遵行等值轉換,即原本 1200V 就用 1200V。
莊淵棋宣示,以往 OBC 操作頻率在 50~60kHz,就材料特性而言,此時硅基、碳化硅和氮化鎵差異不大,只是寬能隙的切換損失 (Switch Loss) 會少一點。拉到 100kHz 后,硅基明顯跟不上,將盡顯寬能隙的切換及傳導損失 (Conduction Loss) 加總優勢;但若再往上到 120~150kHz,碳化硅就有點撐不住,效能呈現停滯。日后上看200kHz、500kHz,氮化鎵反而是最佳主角,依然可維持極小切換損失。再者,駕駛油門踩放之間的切換損失很大,若這個損失占電池達 1/3,氮化鎵效能將優于碳化硅,對于電池容量小的輕量電動車影響甚巨。
氮化鎵潛力大!有機會打入電動車 OBC 及城市行車逆變器
「今天電動車的牽引逆變器多采用碳化硅,但若加計切換損失,未來電池容量小的城市行車極有可能改用氮化鎵」,莊淵棋說。他并提到,豐田 (TOYOTA) 與電綜 (DENSO) 曾做過一項實驗:把所有汽車開關元件改用氮化鎵來做,因為冷卻系統和設計相對簡單,在同一架構下,氮化鎵的物料清單成本 (BOM Cost) 會下降 8%;另在同樣大小的逆變器下,硅基組件電力只有 15kW,但氮化鎵可達 25kW,效能優異。換個角度探討,OBC 在 11kW 下,氮化鎵變壓器尺寸可較硅基縮減 50%;或是同在 6kW 下,可將操作頻率拉升至 500kHz。
莊淵棋預言:現行 OBC 和逆變器皆是碳化硅為主,但長遠的未來 OBC 會以氮化鎵為主,逆變器則與使用場域有關,重點在于「切換損失」。要縮減尺寸最佳手段就是拉高頻率,所以拉高頻率將是趨勢,但碳化硅對此并不具優勢。究竟改用碳化硅或氮化鎵?端看頻率或效能需求,應用場域與商業行為將是決策關鍵。但他不諱言,汽車要千錘百煉,雖然現今已有系統商針對牽引逆變器并行發展,但改架構并非易事;加上去年開始才有廠商專為氮化鎵提供控制器和驅動器,采用轉向過程有學習曲線問題,這樣的改變并非短期內會發生。
這似乎也解釋了為何近期英飛凌 (Infineon) 將以 8.3 億美元全現金方式收購 GaN Systems、以強化電源系統的原因。英飛凌執行長 Jochen Hanebeck 公開宣示,氮化鎵技術導入移動充電、數據中心電源供應、住宅用太陽能逆變器和電動車車載充電器等應用正處于轉折點,將與硅、碳化硅并駕齊驅,并搭配混合返馳式和多級實現等新的拓撲結構應用。研調機構 Yole 預估,到 2027 年,用于功率應用的氮化鎵營收將以 56% 的年復合成長率 (CAGR) 增長至約 20 億美元。
能隙大、散熱佳,碳化硅不僅高效還能簡化冷卻系統
臺灣陽明交大光電工程研究所教授兼鴻海研究院所長郭浩中表示,電動車是不可擋的趨勢,亦是實現凈零碳排不可或缺的元素。業界普遍預測 2035~2040 年,電動車的占比將過半,亦是甜蜜點,2050 年將有很多地方再也見不到燃油車的蹤跡。他援引市調資料預估:2040 年全球電動車產值將達 2.1 兆美元,達 5,000 萬輛規模,中國與美國是兩大電動車市場。;屆時,手機產值不過 0.9 兆美元,約 18 億支產量。相較之下,電動車市場更誘人!也為碳化硅帶來無限商機。
郭浩中指出,電動車的牽引逆變器、板載充電和 DC/DC 轉換器 (Converter) 三大領域,正積極從絕緣柵雙極晶體管 (IGBT) 轉向碳化硅,意法 (ST)、安森美 (OnSemi)、羅姆 (Rohm)、科銳 (Wolfspeed)、英飛凌是五大主要供貨商;其中,ST 受惠于特斯拉 (Tesla) 的采用,市占最大。就工藝來說,ST 和 Wolfspeed 是采平面式 (planar) 工藝,亦是現階段主流工藝,且不只上游晶圓,從模塊到系統的關鍵技術亦多掌握在大廠手中。
鴻海研究院半導體研究所組長蕭逸楷介紹,碳化硅是本世紀的新產物,在 2010 年始見商用化,其禁帶是硅基元件的 3.3 倍,漏電流低很多,這關系到整個系統的能量損耗與碳排量以及冷卻系統的簡化;與此同時,碳化硅本身的散熱能力是硅基的三倍,這意味著只需傳統氣冷系統,不需動用復雜的水冷系統就足以應對散熱。另從產品生命周期觀點來看,碳化硅可從中獲利約 550美元;不論就節能減碳的政策面、技術面和經濟面,碳化硅雖屬于利基型市場,卻相當具有吸引力。
工藝缺陷多,檢測/量測設備至關重要
蕭逸楷分析,碳化硅現有三大瓶頸:制造成本高、工藝須優化以及耐高壓元件的開發。首先,來自于長晶、制造、封裝過程缺陷 (defect) 的產量損失 (Yield Loss) 高達三成,有意投入者若能設法降至個位數,或有機會一舉吃下龐大市場。其次,碳化硅長晶技術嚴苛且主要技術和關鍵材料多屬歐美大廠所有;另一方面,從長晶開始缺陷數就很多,且這些缺陷會一路跟隨工藝往下轉移、甚至生成更多元的缺陷類型,極需高速檢測技術奧援。 他補充,碳化硅工藝雖與硅基類似,但由于整個工藝溫度提高非常多,例如,退火須至 1600℃ 以上高溫,需要予以優化。如何提高電子移動率 (electron mobility) 以改善傳導值與高頻特性是另一重要課題。最后是改善耐高壓元件的可靠度和效能,須從減少傳導損失并提高遷移率以降低通道阻抗、增加電流值著手。
蕭逸楷直言,相較于硅基元件,碳化硅模塊封裝在高壓、高溫、高濕度環境下的挑戰極大;有時候元件本身是良品,卻在封裝出狀況,個別狀態良好不代表加總后的狀態也完美。此外,基板 (Substrate) 價貴且工藝特殊,若能善用電子設計自動化 (EDA) 仿真軟件可較快取得成果;另隨著電壓提高,電流也從毫安 (mA) 提升至數十安培 (A) 等級,還須考慮寄生效應,檢測/量測設備亦至關重要。
臺北科技大學電機系教授黃明熙則提到「雙脈沖」(Double Pulse) 之于寬禁帶量測的不凡貢獻。黃明熙他統整「雙脈沖」的傳統量測用途:1.電源轉換之切換損失、傳導損失、反向恢復 Qrr 損失等關鍵參數;2.與電流控制息息相關的電壓應力 (Voltage Stress);3.審視寄生二極管或二極管的反向特性;4.驗證電源開關的閘極驅動器。不僅如此,雙脈沖更是功率級設計的好幫手,用來測量主要電流路徑的雜散電感 (stray inductance)、功率轉換之雜散電感對關斷電壓突波 (spike) 影響、檢查并聯電源切換之間均流現象、驗證電源開關的 Spice 模型,以及研究變壓器/扼流圈的磁通飽和度。
黃明熙統整雜散電容對電源級設計的影響包括: 1. 雜散電感可能存在電路板的電源走線 (Power Trace),進而影響模塊的電源切換和電容; 2. 雜散電感可能會在關斷瞬態、電磁干擾 (EMI) 時引起電壓應力,以及并聯電源開關之間的不平衡均流; 3. 在 PCB 設計時間,可透過 Ansys Q3D 提取和減少主功率流路徑的雜散電感、減少關斷電壓突波,再使用 DPT 驗證設計。
功率元件感性負載大,單一脈沖無法精準辨別
專精功率元件的Diodes亦贊同雙脈沖測試對于寬能隙的重要。項目經理詹雅惠表示,元件制造商在意的是耐壓、導通、驅動電壓等靜態參數,但站在模塊、馬達、車廠等中、下游廠商立場,更關心的是切換損耗 (Switch Loss)、閘極充放電容的電荷量 (Gate Charge, Qg)、dv/dt、di/dt 等動態參數。碳化硅切換快、損耗低,雙脈沖須很精準且須排除電感等外部噪聲以免誤導;更理想的作法是:只要簡單設定電壓區間就會自動掃瞄,方便快速建模且知道產品極限。她并厘清為何不能只用單一脈沖量測的原因。這是因為大部分功率元件的感性負載 (inductive load) 很大,關閉待測物時,電感電流仍會持續流動而自動開啟二極管 (diode);當待測器開啟時,二極管會有反向恢復過程進而產生電流,單一脈沖無法精準辨別。試將快速反向恢復的 MOSFET (金屬氧化物半導體場效晶體管) vs. 傳統 super-junction (超接面) MOSFET 做比較,前者反向恢復電流 (IRR) 相對下降很多。整體而言,MOSFET 是電場效應,若閘極氧化層 (Gate Oxide) 做厚一些,不容易被擊穿,但效率相對差、啟動慢。如何尋找擊穿電壓與效率的平衡點以及產品可靠度定位,是首要任務。
Diodes 公司看好車用可靠度要求高,已積極轉向車用元件發展;截至 2022 年車用已占公司整體營收的四成。如今,看好 ESG 永續發展商機,著眼更高的電壓與功率密度、更少的導通 (Conduction) 和切換損耗、高轉換效率,且考慮到氮化鎵配套尚未完善及電子游離問題,認為碳化硅在車用領域更有發揮空間而全力投入開發。詹雅惠表示,碳化隙可承受電壓較高、電子游離速度快,有利于高頻應用;且熱導亦是傳統硅基元件的三倍,散熱佳。若 DC/AC、AC/DC 逆變器或 DC/DC 轉換器全都換成碳化硅,可大幅降低能耗。
碳化硅產品主要有三大類:1.二極管,650V 鎖定 400V 電池系統,1200V 面向 800V 電池系統;2.MOSFET,支援雙向反充;3.模塊,集成被動組件,最高支持 1700V。詹雅惠比較 IGBT (絕緣閘雙極晶體管) 和 SiC MOSFET:就 2kW 的板載充電 (OBC) 的功率因子校正 (PFC) 系統來看,改用碳化硅可提升 2.5~3% 效能;另傳統 IGBT MOSFET 是熱源最易聚集的地方,散熱佳的碳化硅溫度表現優異。她援引 Yole 報告:2021 年全球功率碳化硅器件市值約 10.9 億美元,2027 年將達62.97 億美元,期間年復合成長率 (CAGR) 達 34%,而車用是最大分眾市場。
電動車最在意里程數,驅動逆變器和充電樁若改用碳化硅,可大幅拉升 AC/DC 轉換效率;另高鐵牽引逆變器、數據中心和工業用計算機亦是碳化硅應用大宗。