對大部分半導體來說，電漿 (Plasma) 處理仍是標準工藝之一。利用氣體的物理特性或化學沉積，改變材料表面結構、蝕刻、濺鍍或離子布植 (Ion implantation)，以提高電子組件的可靠度、穩定度及工作壽命。要評估電漿工藝是否到位？傳統方法是量測蝕刻深度或接觸角度，不僅作業耗時、且設備十分昂貴或有欠精準。有鑒于此，Sakura Color Products Corporation 推出名為＂PLAZMARK＂的電漿感測片 (Plasma Indicator)，可讓電漿藉由色階變化一目了然，提高生產效率。
Sakura PI 事業部課長大城盛作 (SEISAKU OSHIRO) 解說，＂Plasma Indicator＂的概念是，利用一種功能性色材，藉由自由基 (radicals) 或離子反應，將電漿處理的程度予以可視化，更便于判讀——顏色會由深轉淺，依序從灰紫、深綠到淺綠，隨著每次電漿強度逐漸變化。感測片有卡式和圓片形兩種，前者可解決二維平面難以用光學方式量測的問題，后者能取代電磁探棒做大面積評估；除了供周期或維運查核之用，特別適合難以量測的場域、3D 立體待測物及異常放電偵測。
資料來源：Sakura Color Products Corporation 提供
大城表示，采用會隨電漿體變色的＂PLAZMARK＂色材 (臺灣銷售業務由昱凱科技代理)，是黏著與組裝流程最佳伙伴，應用范疇涵蓋：氧 (O2)／氬 (Ar) 清洗、大氣電漿、耐熱卷標和圓片形組件。氧 (O2)／氬 (Ar) 清洗對于打線或覆晶表面處理、填充膠前清潔、電子組件封裝更是功不可沒，亦可用于紫外線 (UV) 或臭氧 (UV-ozone) 清洗；在電路板、平面顯示器 (FPD) 及薄膜表面改良之大面積＂常壓＂大氣電漿處理。
資料來源：Sakura Color Products Corporation 提供
＂PLAZMARK＂也發展無機色材，為氣體不易揮發及高熱阻特性 (耐熱可達 200℃) 的優選結合；兼具彈性與黏性的軟性卷標，可隨需貼附于弧形的非平面區域，通過不同氣體的不同顏色變化來評估電漿效果。此外，因為電子密度和蘭摩爾探針 (Langmuir probe) 量測結果具有正相關，經由比對電漿前、后的色差與電子密度，亦可獲悉電漿分布狀態。大城透露，Sakura 正在開發直徑為 4 吋和 6 吋的陶瓷基板上，涂布不含有機物質之色材、耐熱可達 400℃！
這對 LED 或微機電 (MEMS) 工藝是一大福音，硅材或藍寶石基板皆適用，同樣能借助視覺和量化評估均質性 (uniformity)。另一款直徑為 200mm / 300 mm 的無金屬 (Metal Free) 色材則試圖根除金屬成份，冀提高硅半導體的電漿清洗凈化度。大城強調，協助設計或升級設備、發展電漿參數、排除電漿系統障礙、日常或周期例行查核以及產出品管，是 Sakura 多年來的企業愿景。
圖3：＂PLAZMARK＂色材可用于多種情境的電漿處理
圖2：＂Plasma Indicator＂有卡式和圓片形兩種，各適其所
資料來源：Sakura Color Products Corporation 提供
圖1：傳統評估電漿效果的方法既耗時、且設備十分昂貴或有欠精準
